Das Macsorb BET Analysegerät von Mountech: Anwendungen in der Halbleiterindustrie 

Die Macsorb Oberflächenanalysegeräte bestimmen die spezifische Oberfläche von Proben nach der BET-Methode. In der Halbleiterindustrie kommen sie zur Qualitätssicherung bei der Produktion verschiedener Pulver und Partikel zum Einsatz. 

Vorteile

• Vollautomatischer Messprozess ermöglicht schnelle und präzise Ergebnisse
• Benutzerfreundliche Bedienoberfläche
• Modulbauweise ermöglicht nachträgliche Erweiterungen der Grundeinheit 
• Echtzeiterfassung und Verfolgung der Messergebnisse am Computer
• Erfassung und Archivierung aller Daten von Adsorption bis zur Kalibrierung ­ermöglichen eine genaue Überprüfung der Wiederholgenauigkeit und Präzision
• Einpunkt-BET-Analyse (optional auch Mehrpunkt-Analyse möglich)
• Die kurzen Messzeiten von ca. 30-50 Minuten sind durch eine Vorwärmeinheit noch weiter reduzierbar

Optionen

• Autosampler für Probenzuführung im automatisierten Betrieb mit 8, 10, 20 bzw. 30 Probenaufnahmen
• Mehrpunktmessung für maximal vier Punkte
• Vorheizeinheit für 1 Probe mit regelbarer Temperatur
• Vorheizeinheit für 5 Proben mit einheitlicher Temperatur
• Vorheizeinheit für 5 Proben mit einzeln regelbaren Temperaturen
• Vorheizeinheit für 10 Proben mit 2 separat regelbaren Temperaturen
• Automatische Zuführeinheit für flüssigen Stickstoff